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发明名称 LEAK DETECTOR AND PROCESS GAS MONITOR
摘要
申请公布号 KR20060092966(A) 申请公布日期 2006.08.23
申请号 KR20050095556 申请日期 2005.10.11
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 LEUNG SAMUEL;BONNE ULRICH A.
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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