发明名称 Methods of forming a small contact structure in a semiconductor device and semiconductor devices fabricated using the same
摘要
申请公布号 KR100615090(B1) 申请公布日期 2006.08.23
申请号 KR20040056125 申请日期 2004.07.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/20;H01L21/44;H01L27/24;H01L45/00 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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