发明名称 |
Ion beam charge neutralizer and method therefor |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2390221(B) |
申请公布日期 |
2006.08.23 |
申请号 |
GB20030007109 |
申请日期 |
2003.03.27 |
申请人 |
SUMITOMO EATON NOVA CORPORATION |
发明人 |
MAKOTO SANO;MICHIRO SUGITANI |
分类号 |
C23C14/48;H01J37/317;H01J37/02;H01J37/20;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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