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发明名称 A METHOD FOR MEASURING INFORMATION ABOUT A SUBSTRATE, AND A SUBSTRATE FOR USE IN A LITHOGRAPHIC APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060093010(A) 申请公布日期 2006.08.23
申请号 KR20050130907 申请日期 2005.12.27
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 LALBAHADOERSING SANJAYSINGH;PIETERS MARCO JOHANNES ANNEMARIE;HAUSCHILD JAN;VAN DE VIN COEN
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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