发明名称
摘要
申请公布号 JP3812026(B2) 申请公布日期 2006.08.23
申请号 JP19970007821 申请日期 1997.01.20
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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