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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR THIN FILM THICKNESS MAPPING
摘要
申请公布号 EP1540276(A4) 申请公布日期 2006.08.23
申请号 EP20030793095 申请日期 2003.08.15
申请人 HYPERNEX, INC.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KOZACZEK, KRZYSZTOF, J.;KURTZ, DAVID, S.;MORAN, PAUL, R.;MARTIN, ROGER, I.;DEHAVEN, PATRICK, W.;RODBELL, KENNETH, P.;MALHOTRA, SANDRA, G.
分类号 G01B15/02;G01N23/20;(IPC1-7):G01B15/02;G01N23/223 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
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