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发明名称 JIG FOR ACCOMMODATING WAFER, COATING APPARATUS FOR WAFER, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060092411(A) 申请公布日期 2006.08.23
申请号 KR20050013159 申请日期 2005.02.17
申请人 SAMSUNG TECHWIN CO., LTD. 发明人 LYU, JUNG KANG;KIM, JOONG DO;KIM, YOUNG NAM;PARK, JONG HAN
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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