发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PROTECTING INTERFEROMETRIC MODULATORS FROM ELECTROSTATIC DISCHARGE
摘要
申请公布号 KR20060092922(A) 申请公布日期 2006.08.23
申请号 KR20050089952 申请日期 2005.09.27
申请人 IDC, LLC 发明人 FLOYD PHILIP D.
分类号 H01L29/00;H01L27/04 主分类号 H01L29/00
代理机构 代理人
主权项
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