采用无接触加热的共蒸发工艺制备薄膜的方法和装置

摘要

本发明涉及采用无接触加热的共蒸发工艺制备薄膜的方法和装置。该方法包括：将蒸积靶材放置于靶悬浮管内，维持真空系统在要求的真空度下，调节高频交变感应电源的功率和频率达到所要求的蒸积温度，靶材开始蒸积；同时打开水冷，冷水经感应线圈、副感应线圈降低系统的温度，靶的温度测量通过红外测温仪测定。该装置在真空镀膜设备中至少安装一套由靶悬浮管、中空水冷管制作的感应线圈和副感应线圈、感应电源和副感应电源作成的涡流加热器；其中感应线圈和副感应线圈均匀的缠绕在靶悬浮管外壁上部和下部，相邻二匝保持绝缘，感应线圈与电源电连接；感应电源分别与计算机电连接。本发明实现蒸积材料悬浮不与容器相接触，避免了舟蒸发对薄膜的污染。

主权项

1.一种采用无接触加热的共蒸发工艺制备薄膜的装置，包括：带有石英窗口的真空室、和安装在真空室外两侧与真空室连通的真空机组，真空室内上方安装基片加热器、档板和光栏；高压气瓶通过真空室壁上的针阀与真空室连通；控制计算机与控温装置和基片加热器电连接；以及带有红外测温仪；其特征在于：还包括至少一套涡流加热器，所述的涡流加热器由安装在真空室内的一用绝缘材料制作的靶悬浮管，和用中空螺旋水冷管制作的感应线圈和副感应线圈，以及在真空室外的感应电源和副感应电源组成；其中感应线圈和副感应线圈分别均匀缠绕在所述的靶悬浮管外壁上部和下部，相邻二匝保持绝缘，感应线圈和副感应线圈之间绝缘，感应线圈和副感应线圈的两端引线，分别与真空室外的感应电源和副感应电源输出端电连接；感应电源与计算机电连接；基片加热器位于真空室的上部，蒸积靶材放置于靶悬浮管之中，基片和靶悬浮管口之间还放置了挡板和光栏。