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发明名称
摘要
申请公布号 JP3811602(B2) 申请公布日期 2006.08.23
申请号 JP20000265714 申请日期 2000.09.01
申请人 发明人
分类号 C23F1/12;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 C23F1/12
代理机构 代理人
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