| 发明名称 | 用于二氧化硅或金属硅酸盐薄膜的前体 | ||
| 摘要 | 一种选自双(叔丁氧基)(异丙氧基)甲硅烷醇、双(异丙氧基)(叔丁氧基)甲硅烷醇、双(叔戊氧基)(异丙氧基)甲硅烷醇、双(异丙氧基)(叔戊氧基)甲硅烷醇、双(叔戊氧基)(叔丁氧基)甲硅烷醇、双(叔丁氧基)(叔戊氧基)甲硅烷醇及其混合物的组合物；其在基底上形成金属或准金属硅酸盐层的应用以及混合烷氧基甲硅烷醇的合成。 | ||
| 申请公布号 | CN1821251A | 申请公布日期 | 2006.08.23 |
| 申请号 | CN200510137359.4 | 申请日期 | 2005.12.09 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | 雷新建;R·鲁肯斯 |
| 分类号 | C07F7/02(2006.01);C23C16/40(2006.01);C23C16/04(2006.01);C23C16/44(2006.01);H01L21/31(2006.01) | 主分类号 | C07F7/02(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘健;邹雪梅 |
| 主权项 | 1、一种组合物，该组合物选自双(叔丁氧基)(异丙氧基)甲硅烷醇、双(异丙氧基)(叔丁氧基)甲硅烷醇、双(叔戊氧基)(异丙氧基)甲硅烷醇、双(异丙氧基)(叔戊氧基)甲硅烷醇、双(叔戊氧基)(叔丁氧基)甲硅烷醇、双(叔丁氧基)(叔戊氧基)甲硅烷醇及其混合物。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||