| 发明名称 | 利用放热反应制备多晶硅的方法 | ||
| 摘要 | 本发明描述了通过对包括硅烷气体的反应气体的热分解或氢还原来制备多晶硅的方法，该方法包括除引入反应气体外还将氯化氢引入反应器中，并利用在反应器内氯化氢和硅之间的反应所产生的反应热作为额外的热源。 | ||
| 申请公布号 | CN1271252C | 申请公布日期 | 2006.08.23 |
| 申请号 | CN98803292.9 | 申请日期 | 1998.02.13 |
| 申请人 | 韩国化学研究所 | 发明人 | 金希永 |
| 分类号 | C30B29/06(2006.01) | 主分类号 | C30B29/06(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 丁业平 |
| 主权项 | 1.一种通过在钟罩形反应器中使硅沉积在晶核棒的表面来制备棒形多晶硅的方法，该方法包括：向反应器中引入包括含卤素硅烷气体的反应气体；除反应气体外还向反应器中引入氯化氢，其中氯化氢的流速低于含卤素硅烷气体流速的60wt％；在反应器内利用由氯化氢产生的反应热；和将所述的晶核棒的表面温度维持在约600-1200℃的范围内。 | ||
| 地址 | 韩国大田 | ||