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发明名称 APPARATUS FOR CIRCULATING REFRIGERANT AT SEMICONDUCTOR ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060091915(A) 申请公布日期 2006.08.22
申请号 KR20050012685 申请日期 2005.02.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SHIN, KWAN SUN
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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