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经营范围
发明名称
CARRYING WAFER CARRIER SENDING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100615095(B1)
申请公布日期
2006.08.22
申请号
KR20040085969
申请日期
2004.10.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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