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经营范围
发明名称
WASHING BATH FOR SEMICONDUCTOR WASHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
KR20060091916(A)
申请公布日期
2006.08.22
申请号
KR20050012686
申请日期
2005.02.16
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, EUNG DO
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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