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发明名称
Method of forming a via contact structure using a dual damascene process
摘要
申请公布号
KR100615088(B1)
申请公布日期
2006.08.22
申请号
KR20040052056
申请日期
2004.07.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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