| 主权项 |
1.一种用于支撑并转动晶圆之旋转装置,包含一第 一转轴单元、复数第二转轴,及一可感应地带动该 第一转轴单元转动的动力单元,该第一转轴单元与 每一第二转轴相间隔地并抵靠在该晶圆的外周缘 上,以支撑该晶圆,当该第一转轴单元被该动力单 元驱动而旋转时,会带动该晶圆转动,其特征在于: 该第一转轴单元包括: 一轴杆,具有一可界定出一中心轴线的杆体段、一 围绕该中心轴线并自该杆体段之端面向外延伸的 容置管段、及一形成于该杆体段外周面上并可供 该晶圆靠抵的凹环槽,该容置管段可界定出一沿着 该中心轴线延伸的容置槽,该容置槽具有一中心槽 部,及复数环绕该中心轴线排列并与该中心槽部相 连通的环槽部; 一分隔杆,设置在该轴杆之容置管段的中心槽部内 并以非金属材质制成; 复数磁性条,个别容置在该轴杆之容置管段的每一 环槽部内并被该分隔杆所抵顶;以及 一可封闭该轴杆之容置槽的轴盖。 2.依据申请专利范围第1项所述用于支撑并转动晶 圆之旋转装置,其中,该轴盖具有一形成于其外周 面上的外螺纹,及一位于端面上并可供一工具穿套 的扳动槽,该轴杆之容置管段更具有一邻近于端部 并可与该外螺纹螺合的内螺纹,当该工具穿套入该 扳动槽并转动时,藉由该轴盖之外螺纹与该容置管 段之内螺纹相互螺合,可将该轴盖锁固于该轴杆上 。 3.依据申请专利范围第2项所述用于支撑并转动晶 圆之旋转装置,其中,在该轴盖之外螺纹与该轴杆 之容置管段的内螺纹之间涂上矽胶,使两者密切地 结合固定。 4.依据申请专利范围第1项所述用于支撑并转动晶 圆之旋转装置,更包含一设置在该轴杆之容置管段 与轴盖之间并且是非金属材质所制成的密封环垫, 使该轴杆与轴盖可密合地盖合。 5.依据申请专利范围第1、2、3或4项所述用于支撑 并转动晶圆之旋转装置,其中,该第一转轴单元之 轴杆是以聚二醚酮(Poly Ether Ether Ketone,PEEK)所制成 。 图式简单说明: 图1是一剖面侧视图,说明习知的旋转装置是设置 在一振荡槽中,并可支撑并转动一晶圆; 图2是一立体分解图,说明习知旋转装置之第一转 轴单元的组成构件; 图3是一图,说明本新型用于支撑并转动晶圆之旋 转装置之较佳实施例,是设置在一振荡槽中,并可 支撑与转动一晶圆;及 图4是一立体分解图,说明该较佳实施例之第一转 轴单元的组成构件。 |
