| 主权项 |
1.一种薄膜单元,包括: 具有中心点和一个外周围部份之薄膜;及 一个薄膜套,该薄膜套包括: 一个固定表面,用以支持薄膜在其外周围部份上, 藉以界定在薄膜套中一个流体室,流体的流入流体 室中及流体自流体室中流出系当将薄膜变形时被 达成;及 一个调整表面,用以形成流体室之一个内面,藉以 提供薄膜变形之一极限,该调整表面包括: 经连续成形之一个凸表面区域,具有固定表面用以 支持薄膜在接于外周围部份之其一个部份上;及 经连续成形之一个凹表面区域,具有凸表面区域用 以支持薄膜在接于中心点之其一个部份上,其中 凸表面区域和凹表面区域的曲率是相同的。 2.如申请专利范围第1项之薄膜单元,其中该薄膜单 元是薄膜泵。 3.一种薄膜单元,包括: 具有一中心点和一个外周围部份之薄膜;及 一个薄膜套,该薄膜套包括: 一个固定表面,用以支持薄膜在其外周围部份上, 藉以界定在薄膜套中一个流体室和一个反压力室 使得该薄膜功能系作为一边界,流体的流入流体室 中及流体自流体室中流出系当使薄膜依照流体室 与反压力室间之压力差的变更予以变形时被达成; 及 一个调整表面,用以形成流体室和反压力室至少一 者之一个内面,藉以提供薄膜变形之一极限,该调 整表面包括:经连续成形之一个凸表面区域,具有 固定表面,用以支持薄膜在磷接于外周围部份之其 一个部份上;及 经连续成形之一个凹表面区域,具有凸表面区域用 以支持薄膜在接于中心点之其一个部份上,其中 凸表面区域和凹表面区域的曲率是相同的。 4.如申请专利范围第3项之薄膜单元,其中该薄膜单 元是薄膜泵。 图式简单说明: 第1图是一纵向截面图,说明根据本发明之一较佳 具体实施例之薄膜泵。 |
