| 主权项 |
1.一种扫描热显微镜探针,其包括:一悬臂;一第一 导电层,形成于所述悬臂表面;一绝缘层,覆于所述 第一导电层表面,其具有一通孔;一第二导电层,覆 于所述绝缘层表面,所述第一导电层与第二导电层 在所述通孔处相连形成一热电偶区;以及一奈米碳 管,其形成于所述热电偶区,该奈米碳管一端与热 电偶区处之第二导电层相连,另一端为自由端。 2.如申请专利范围第1项所述之扫描热显微镜探针, 其中,所述奈米碳管基本垂直于热电偶区。 3.如申请专利范围第1项所述之扫描热显微镜探针, 其中,所述第一导电层使用之材料可选自钨、铜、 矽或镁中之一种或几种之混合。 4.如申请专利范围第1项所述之扫描热显微镜探针, 其中,所述第二导电层使用之材料可选自金、镍或 铬中之一种或几种之混合。 5.如申请专利范围第1项所述之扫描热显微镜探针, 其中,所述奈米碳管为单壁奈米碳管或多壁奈米碳 管。 6.如申请专利范围第1项所述之扫描热显微镜探针, 其中,所述奈米碳管系藉由化学气相沈积法或电弧 放电法形成于所述热电偶区。 7.如申请专利范围第1项所述之扫描热显微镜探针, 其中,所述奈米碳管系藉由在电场作用下把奈米碳 管吸附到热电偶区形成于所述热电偶区。 8.如申请专利范围第1项所述之扫描热显微镜探针, 其中,所述奈米碳管系藉由粘合物质来将奈米碳管 连接形成于所述热电偶区。 9.如申请专利范围第1项所述之扫描热显微镜探针, 其中,所述扫描热显微镜探针之解析度达10奈米以 下。 图式简单说明: 第一图系本发明之实施例所提供之扫描热显微镜 探针示意图。 |
