发明名称 HEATING FURNACE AND APPARATUS FOR PROCESSING A SUBSTRATE HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060091468(A) 申请公布日期 2006.08.21
申请号 KR20050012360 申请日期 2005.02.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JUNG NAM
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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