发明名称 a method manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100613334(B1) 申请公布日期 2006.08.21
申请号 KR19990067740 申请日期 1999.12.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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