TWO-FLUID JET MODULE FOR CLEANING SUBSTRATE AND CLEANING DEVICE USING THEREOF,申请号KR20050126990-传众专利搜索

发明名称	TWO-FLUID JET MODULE FOR CLEANING SUBSTRATE AND CLEANING DEVICE USING THEREOF
摘要
申请公布号	KR100616248(B1)	申请公布日期	2006.08.21
申请号	KR20050126990	申请日期	2005.12.21
申请人	K.C.TECH CO., LTD.	发明人	YOON, GEUN SIK;CHAE, HEE SUNG
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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