| 发明名称 |
PROCEDE DE REALISATION DE MOTIFS A FLANCS INCLINES PAR PHOTOLITHOGRAPHIE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2858694(B1) |
申请公布日期 |
2006.08.18 |
| 申请号 |
FR20030050410 |
申请日期 |
2003.08.07 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
RABAROT MARC;KIPP MATHIEU;KOPP CHRISTOPHE |
| 分类号 |
G03F7/20;B81C1/00;G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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