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发明名称
A semiconductor device with a finite gate pattern width, and a method thereof
摘要
申请公布号
KR100613277(B1)
申请公布日期
2006.08.18
申请号
KR20030092729
申请日期
2003.12.17
申请人
发明人
分类号
H01L21/336
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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