发明名称 ALIGNER, EXPOSING METHOD, METHOD FOR MANUFACTURING THIN-FILM TRANSISTOR, DISPLAY DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE USING SHADING MEANS
摘要
申请公布号 KR100613159(B1) 申请公布日期 2006.08.17
申请号 KR20040005987 申请日期 2004.01.30
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;G03C5/00;G03C5/04;G03H1/22;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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