| 发明名称 |
Method of manufacturing a hermetic chamber with electrical feedthroughs |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2006213091(A1) |
申请公布日期 |
2006.08.17 |
| 申请号 |
AU20060213091 |
申请日期 |
2006.01.13 |
| 申请人 |
CARDIOMEMS, INC. |
发明人 |
JIN WOO PARK;FLORENT CROS;MICHAEL FONSECA;LIANG YOU;MARK ALLEN;DAVID O'BRIAN |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/00;H01L21/44;H01L21/50;H01L23/02 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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