Verfahren und Einrichtung zur Bearbeitung von Materialoberflächen

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung zur Bearbeitung von Materialoberflächen mittels einer Strahlung, die auf die zu bearbeitende Materialoberfläche gerichtet ist, auf der die auftreffende Strahlung absorbiert wird, die einen Aerosol-/Gasstrom aus Atomen, Molekülen, Partikeln und/oder elektrisch geladenen Partikeln ausbildet. DOLLAR A Es soll in einfacher Weise die bei deren thermischer Behandlung entstehenden Aerosole/gasförmigen Abgasprodukte in unmittelbarer Nähe des Entstehungsortes fixiert werden. DOLLAR A Die Lösung besteht darin, dass die sich innerhalb des Aerosol-/Gasstromes (19) bewegenden Atome, Moleküle, Partikel (14) durch eine mit mindestens einer vorgegebenen Wellenlänge und Leistungsdichte vorgegebenen Strahlung (4) zu Ionen und/oder elektrisch geladenen Partikeln (15) verändert werden, dass die Ionen und/oder elektrisch geladenen Partikel (15) von einem zum Aerosol-/Gasstrom (19) richtungsverschieden ausgebildeten elektrostatischen Feld (18) abgelenkt werden sowie dass die Ionen/elektrisch geladenen Partikel (15) an mindestens einer gekühlten, jeweils zu den Ionen/elektrisch geladenen Partikeln (15) entgegengesetzt gepolten Elektrode (7, 8) entladen werden und dort kondensieren.