具平坦度量测的相位移干涉装置

摘要

一种具平坦度量测的相位移干涉装置，系改良麦克森干涉装置以提高解析度的光学非接触式量测装置。本创作利用加入四分之一波片(quarter–wave plate)与偏光镜(polarizer)的简单光学元件组合取代常用的压电材料来产生相位移，可以产生四组不同的相位移(phase shift)状态，而得到四组连续的干涉条纹，使装置的解析度提升，达波长的八分之一，将更有利于对微米级待测物表面状况的了解，最后可再配合电脑影像处理系统将待测物曲面重建。