分配精确流体体积的装置

摘要

所揭系为一种可配布一定量流体供用于一系统来处理半导体工件的配布测量系统。该配布测量系统包含至少一馈线含有一承接槽具有一体积容量可接收一定量流体。一感测器可感测出该承接槽已接收该定量流体。一混合槽会附接于该至少一馈线，而可由该承接槽接收该定量流体来造成一批流体。一控制器会电连接于该至少一馈线来控制通过该至少一馈线的流体流。该控制器会电连接于混合槽。一连接线会附接于该混合槽。