| 摘要 |
一种晶圆处理系统以及其制造方法，其系具有一直径的晶圆可在真空预备室(loadlock)和制程腔(processingchamber)之间移动。装置转换腔的配置可与真空预备室和制程腔进行选择性的压力交流。此转换腔有一横向延伸的构形，使得晶圆可在真空预备室和转换腔移动之间经此转换腔移动；而且横向延伸的构形造成具有晶圆直径且沿晶圆传送路径移动的晶圆在其晶圆传送路径中的任何位置上至少可和真空预备室或制程腔其中之一相涉。本晶圆包含一中心，且晶圆传送路径可定义为该中心在转换腔中的移动距离(movement of thecenter)。摇摆手臂被描述：可从本位藉由相对应方向之不同角度独立移动。 |
