清洗匣盒

摘要

一种清洗匣盒，其适于承载多个半导体元件，以进行一清洗制程，其中每一半导体元件具有一待清洗面。此清洗匣盒主要包括一本体以及多个水流导板，其中本体具有至少一开放的容置空间，而水流导板系平行配置于容置空间内，而于容置空间内区分出多个容置槽，以供半导体元件插置。此外，每一水流导板之部位与其所对应之待清洗面的间距系小于每一水流导板之外围部位与其所对应之待清洗面的间距。此清洗匣盒可对半导体元件提供较佳之清洗效果。