包含模型回馈更新之隔离/巢套级联修整控制

摘要

本方法系包括一种蚀刻处理的方法，其允许隔离与巢套结构／特征部之间的偏差被加以调整、及处理的修正方法，其中隔离结构／特征部必须小于巢套结构／特征部，且其中相较于隔离结构／特征部而言，必须缩小巢套结构／特征部，而允许进行修整的关键控制。