电浆处理设备

摘要

兹提供一种电浆制程设备，其可于真空状态下于处理室中产生电浆，以利用电浆处理置于该处理室中之基材，且至少包含一电浆隔档单元，其环绕该电浆制程设备中所设电极的周围，以避免该等电极暴露于电浆下。