电浆处理设备

摘要

本发明揭示一种电浆处理设备，其使用在一腔室中所产生之电浆，来执行用于基材之期望处理，该腔室界定于该电浆处理设备中且维持于真空状态。该电浆处理设备包括一冷却器，其有效地冷却一包括在该电浆处理设备中之电极单元，俾以均匀地处理一大型基材。