| 摘要 |
本发明包括主光罩及形成主光罩之方法。在一态样中，一主光罩可包括一含石英基板、一衰减层及一位于该衰减层与该含石英基板之间的抗反射结构。本发明亦可包括一主光罩，其具有一位于第一表面与第二表面之间之相对透明区域，一最接近该第一表面之相对不透明区域及一包含金属氟化物及氧化铪中之一者或两者且最接近该第一表面或该第二表面的层。本发明亦可包括形成主光罩之方法，其中一抗反射结构系形成于一含石英基板之一表面之上。该抗反射结构可包含一Fabry–Perot对，且在一些态样中可包含一含有金属氟化物及氧化铪中之一者或两者的层。 |
