正型光阻剂组成物

摘要

本发明系有关于一种正型光阻性组成物，其大致包括(A)之共聚合物，其系为具有如下式(1)结构单元之共聚合物、或具有如下式(2)结构单元之共聚合物、或具有如下式(3)结构单元之共聚合物094103993-p01.bmp094103993-p02.bmp094103993-p03.bmp其中R1、R2、R3、R4、R5、R6、U、V、X、Y及Z定义如说明书；(B)含二叠氮基感光化合物；以及(C)有机溶剂，其系选自包括醚族、酮族、酯族、芳香族或醯胺族溶剂。094103993-p01.bmp