发明名称 气体扩散盘及其制造方法
摘要 本发明气体扩散盘具有氧化铝或铝底材,其具有一个或多个贯穿孔、及收缩装配入贯穿孔之一并具有一个或多个气体排气孔的氧化钇物体。
申请公布号 TW200629401 申请公布日期 2006.08.16
申请号 TW094134417 申请日期 2005.09.30
申请人 东芝陶磁股份有限公司 发明人 渡边敬佑;森田敬司;永幸行
分类号 H01L21/3065;C23C16/50;C23F4/00;C04B37/00 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本