超低能量微流体喷射装置

摘要

一种用于喷射超小液滴之微流体喷射装置及制造一微流体喷射装置之方法。该微流体喷射装置包括一其上配置有复数个热喷射致动器之半导体基板。每一该等热喷射致动器包括一电阻层及一用于保护该电阻层之一表面的保护层。该电阻层及该保护层一起构成一致动器叠层厚度。该致动器叠层厚度在大约500到大约2000埃的范围，且提供大约每立方米10兆焦耳到大约每立方米20兆焦耳的单位体积喷射能量。一喷嘴板系附接到该半导体基板，构成该微流体喷射装置。