真空涂覆系统

摘要

为了增加真空涂覆系统的效率及生产力，此真空系统系用于施覆一层至一基板上，尤其是用于自汽相沈积玻璃状、玻璃–陶瓷及／或陶瓷层在一基板上，本发明提供一种具有可移动节段之基板–固持装置，其可采取用于插入或移除基板之第一位置，以及用于涂覆之第二位置。再者，本发明提供一种更换装置，用于更换真空涂覆室内的蒸发材料，以及适用于此蒸发材料的蒸发材料单元。本发明亦提供一种包含所述之装置的真空涂覆系统，以及用于涂覆基板之对应方法。