摘要 |
一种防止于制造制程中由于充电导致闸极氧化膜破坏、劣化的半导体积体电路。半导体积体电路包括:闸极12,与电晶体之扩散层11绝缘而设置;配线13、14,连接于闸极12;配线15,与配线13平行而邻接;配线16,与配线15连接。闸极12之闸极面积定为G_Area,闸极电容定为G_Cap。又,配线13、14、15、16各面积分别定为MG1_Area、MG2_Area、M1_Area、M2_Area。配线13与配线15之间的寄生电容定为M1_Cap。从面积算出之天线比例R1为,R1={(MG1_Area+MG2_Area)+α(M1_Area+M2_Area)}/G_Area。α为以G_Cap及M1_Cap之函数决定的参数。此时,以满足R1<L1(构成闸极氧化膜损害之规定值)之方式,进行配线之布局。 |