| 摘要 |
本发明为提供一种可改善EL偏移(EL–margin)与尺寸忠实性(Mask–Lineality)之正型光阻组成物。此正型光阻组成物为含有(A)经由酸之作用而增大硷可溶性之树脂成份，与(B)经由曝光产生酸之酸产生剂成份之正型光阻组成物，前述(B)成份为含有具下述式(b–1)所示阳离子部之盐系酸产生剂(B1)，与具下述式(b–2)所示结构之磺酸酯系酸产生剂(B2)。094141161-p01.bmp【式中，R^1”为烷基、烷氧基、卤素原子、或羟基；R^2”、R^3”为各自独立之可具有取代基之芳基或烷基，n为0或1至3之整数】094141161-p02.bmp【式中，R^21’为有机基；R^22’为1价有机基或氰基】。094141161-p01.bmp |
