瓶型沟槽电容器的形成方法

摘要

一种瓶型沟槽电容器形成方法，包括：形成沟槽于基底中；形成电容器于沟槽的下部分；形成导电层于电容器上，且导电层以环状介电层与基底隔绝；以及于环状介电层上方之沟槽侧壁成长磊晶层，以缩小沟槽之开口面积。