静电容量型压力感测器

摘要

〔课题〕提供小型、薄型、构造也单纯、可靠性高之静电容量型压力感测器。〔解决手段〕采用一种静电容量型压力感测器，为具有膜片2之导电性矽基板3与具有固定电极8之绝缘性基板4，被重叠而接合，而且，于膜片2与固定电极8之间，形成有密闭室7，其特征为：于绝缘性基板4的一部份埋设有导电性矽构件5，导电性矽构件5的一部份5a为露出绝缘性基板4的密闭室7侧，而构成固定电极8，而且，导电性矽构件5的另外一部份5b为露出绝缘性基板4的密闭室7相反侧，而构成固定电极8的取出电极9。