修正雷射处理系统之系统误差的方法

摘要

一种在三个维度上校正一雷射微加工系统(20)之方法，其包含：扫描(70)一样本工件(22)以决定3D表面；按一系列步骤计算出(72、74、76、78、80、82)对于该扫描资料之最佳拟配表面；以及储存(84)此结果，因而可对后续工件进行校正，俾以移除由相关之材料处置子系统内的变异所引入之系统误差。该方法可视需要利用平板弯折理论以将粒子污染和模型化，并利用云形曲线拟合以按一片段方式拟配该3D表面，藉以在整个表面拟配上将各局部变异的影响最小化。