具有侧壁磁铁之感应式电浆系统

摘要

本发明揭示一种基板处理系统，其具有一外壳，其中该外壳界定一处理室。一基板支架被置放在该处理室内，及被配置为在基板处理期间支持在一基板面内之基板。一气体分送系统被配置为将一气体注入该处理室。一控压系统维持该处理室内之一选择气压。一高密度电浆产生系统系与该处理室产生可操作之耦合。一具有磁偶极之磁性局限环系环绕一对称轴周围，及提供具有实质上不平行于该基板面之净偶极矩的磁场，其中该对称轴垂直于该基板面。一控制器控制该气体分送系统、该控压系统及该高密度电浆系统。