感光性树脂组成物及使用彼之感光性乾膜

摘要

本发明提供一种用于h–射线曝光的感光性树脂组成物，其对h–射线具有高感度且具有极佳之光阻图案解析度，及一种使用彼之感光性乾膜。该感光性树脂组成物系由下列者所组成：硷可溶解树脂(A)，其具有含脂环族环氧基之不饱和化合物位于含羧基之丙烯酸共聚物中的羧基部份并具有重量平均分子量为1,000至100,000；烯键式不饱和化合物(B)；及光聚合起始剂(C)，其包括至少一种对波长405奈米之光的吸收系数为1或更高的光聚合起始剂(C1)做为主要成份。