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发明名称 化学放大型正光阻组成物
摘要 本发明系提供一种化学放大型正光阻组成物，系包括(i)聚合物，其不溶或微溶于硷性水溶液，但于酸作用下则溶于硷性水溶液，(ii)酸产生剂，以及(iii)式(I)化合物。094145015-p01.bmp本发明亦提供作为化学放大型正光阻组成物的成分之酯类衍生物，并提供制造该酯类衍生物的方法。094145015-p01.bmp
申请公布号 TW200628985 申请公布日期 2006.08.16
申请号 TW094145015 申请日期 2005.12.19
申请人 住友化学股份有限公司 发明人 武元一树;山口训史;本宏
分类号 G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 日本
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