正型光阻组成物及使用它之图案形成方法

摘要

本发明揭示一种正型光阻组成物，其包括(A)具有单环或多环脂环烃结构，而且可因酸之作用分解而增加在硷显影剂中之溶解度之树脂，(B)一种在以光化射线与放射线之一处理时可产生酸之化合物，及(F)含30至60质量％之量之氟原子之指定界面活性剂，及一种使用它之图案形成方法。