发明名称 半导体装置
摘要 〔课题〕提供使半导体装置可容易达成所希望的耐压的技术。〔解决手段〕以p杂质区域3界定的高电位岛区域201内的n^–半导体层2中形成n^+杂质区域52,n^+杂质区域52与p杂质区域3间的n^–半导体层2的上方多重地形成第1场极板55a~55e与复数第2场极板。在上层的第2场极板位于在下层的的第1场极板间的间隙上方,且配线30通过第2场极板的上方。第2场极板内最靠近p杂质区域3的第2场极板在配线30的下方具有切断处,而在上述切断处的下方的第1场极板间的间隙中形成分离的电极56。
申请公布号 TW200629558 申请公布日期 2006.08.16
申请号 TW095115890 申请日期 2004.11.30
申请人 三菱电机股份有限公司 发明人 清水和宏
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 洪澄文
主权项
地址 日本