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发明名称 ELECTRODE ARRANGEMENT FOR THE PLASMA-SUPPORTED MAGNETICALLY-GUIDED DEPOSITION OF THIN LAYERS IN VACUO
摘要
申请公布号 EP1387897(B1) 申请公布日期 2006.08.16
申请号 EP20020740294 申请日期 2002.04.26
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 WINKLER, TORSTEN;WEISKE, DIETER;EGEL, MANUELA;GOEDICKE, KLAUS;KIRCHHOFF, VOLKER;LIEBIG, JOERN-STEFFEN;KOPTE, TORSTEN
分类号 C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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